名稱:青島國浩空調設備有限公司
張經理:18853229677
電話:0532-87010717
傳真:0532-87010717
郵箱:guohaokongtiao@163.com
網址:http://www.fpsafi.com
地址:青島市城陽區上馬街道北張社區工業園
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(1)一般排氣:機器運轉發熱,產生無害物質或高溫氣體,但考慮到潔凈室空調負荷和過濾裝置負荷,將廢氣用普通風車排入大氣環境,無需處理。注意:GEX采用鍍鋅螺旋風管,HEX采用SUS304酸排(SEX)、堿排(AEX)系統流程。
(2)酸堿排氣:主要來自化學清洗站。清洗晶片時產生的揮發性氣體含有濃煙,對呼吸系統有刺激作用。所以一定要用Scrubberubber中清洗,然后通過風扇排放到大氣中。
(3)有機溶劑排氣:主要來源于涂膠、顯影工序及各工序的有機溶劑清洗過程中產生的,需要用有機廢氣處理設備處理后,再由風機排入大氣。
(4)堿脫氣:其主要來源是數組工程的脫皮工序所用的脫皮液,廢氣通過冷凝吸收器將廢氣中的脫除液冷卻下來,冷凝器吸收處理過的廢氣所含的廢氣濃度會大大降低,然后送到CentralScrubber進行洗滌和處理,再由風機排入大氣。
(5)緊急排氣:在潔凈室的機臺端風管中,探頭感應氣體濃度太高時,緊急開啟,使生產正常,維持室內環境。